アンモニア燃焼除害装置
サンレーアンモニア燃焼除害装置は、半導体製造装置や研究施設等から排出されるアンモニアを含む排ガスを燃焼除害する装置です。永年培った燃焼技術をベースに、低NOx燃焼を実現し、アンモニアを分解します。窒素含有溶剤の処理にも適応できます。
- 特長
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- 1. 低NOx燃焼・高効率で完全分解
- 低NOx燃焼で環境に優しく、燃焼炉は高温且つ十分な滞留時間でアンモニアを酸化及び還元分解します。
- 2. 小容量~大容量処理可能
- 受注生産の為、お客様のご要求に対応します。 排ガス集中処理等の大容量処理にも対応します。
- 3. コスト低減
- ユーティリティが簡素化されており、装置が安価で経済的です。直接燃焼処理方式を採用しており、完全燃焼の上、乾式処理するため、余分な設備の必要がありません。また、全ての機器が自動コントロールされているため、維持管理も容易で人件費が節約できます。
- 4. 安全重視・取扱容易
- 自動機器監視装置を装備、信頼性の高い機器を使用し、安全を最優先にした設計です。シンプルな燃焼機構で保守管理も簡単な省人型の処理装置です。
- 5. 省エネルギー・省スペース
- 装置をパッケージ内に収納し省スペース化。乾式処理のため付帯設備が不要です。装置は室内、室外共に設置が可能です。省エネルギーに配慮したコントロールシステムを採用しております。
- 用途
- 半導体デバイス研究・製造施設、その他アンモニアを含むガスを排出する施設からの排ガス処理
- 仕様
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事例1 事例2 処理ガス成分 NH3+H2+N2 最大処理ガス量 12.6 m3/h(N) 66.6 m3/h(N) 助燃ガス量 2-6.5 m3/h(N) 1.9~15.1 m3/h(N) (助燃ガス:都市ガス13A) (Hi-Low-Off制御方式) (比例制御方式) 処理後排ガス中のNH3濃度 0ppm 処理後排ガス中のNOx濃度 8ppm以下 28ppm以下 設置スペース W2000×D1500×H2000 (mm) W2500×D1500×H2100 (mm)